铁电薄膜铁电性能的测量方法

1、电滞回线测量

进行电滞回线测量时图中电源U提供三角波，频率和幅度由用户通过软件设定，频率范为10Hz到10kHz，幅度范围为0到±10V。

通过参数和样品的厚度、尺寸参数很容易通过如下公式计算出铁电薄膜样品的线性电容Cef和线性介电常数Kef。

Cef=Q/V = (P^ *Area)/Emax      

Kef =( Cef * Thickness)/(% * Area) 

2、漏电流测量（电阻测量）

电源U提供0.5秒的直流电压给被测样品，电压值由用户设定，样品的漏电流通过电流放大和积分后的输出电压Uy正比厂样品的漏电流I，再通过如下公式可计筇出样品的漏电导率。

H = V/I;                   

S = Thickness/( R * Area); 

3、铁电疲劳性能测量

铁电疲劳性能是铁电薄膜材料的yong久极化与开关次数关系Pr〜n。测试过程屮随着开关次数增加 Pr逐渐减小，当Pr小到一定值时±Pr将不能分开,即1、0不能分开，此时即失去记忆性能，称为疲劳, 它是与铁电存储器密切相关的一个参数。

4、保持特性测量

铁电保持性能是铁电薄膜材料的yong久极化与时间关系Pr〜t，它是铁电存储器使用可靠性的一个参数。